Sistema di sonde per il collegamento al wafer
Per soddisfare gli impegnativi requisiti delle misure su wafer a frequenze sub-THz, la soluzione congiunta utilizza la piattaforma per sonde AIT di MPI Corporation. La soluzione è stata sviluppata per effettuare misure su wafer da 150 mm, 200 mm e 300 mm senza compromettere le caratteristiche della strumentazione, l'accuratezza delle misure e la semplicità di funzionamento. La soluzione copre la gamma di frequenze fino a 1 THz e oltre e comprende la caratterizzazione per sovratemperatura.
L'adattatore dedicato dell'estensore di frequenza (FEAD) e il design unico della piastra della sonda consentono di ridurre al minimo la distanza tra la porta dell'estensore e il dispositivo in prova (DUT). Le fixture posizionano i convertitori di frequenza molto vicino al wafer per massimizzare la potenza del dispositivo e garantire una gamma dinamica estremamente ampia per le misure in ingresso e in uscita. Il software pionieristico di calibrazione QAlibria®e i substrati di calibrazione verificati realizzano metodi di calibrazione avanzati e standard del settore, nonché la calibrazione multilinea NIST Through‑Reflect-Line (TRL) di livello metrologico, collegandosi al pacchetto software NIST StatistiCAL.
Il sistema per sonde manuali MPI TS200-THZ condivide gli stessi principi fondamentali della sua controparte automatizzata, il modello MPI TS2000-IFE THZ-Selection. Entrambi i sistemi incorporano posizionatori di precisione e una piastra ingegnerizzata per assicurare prestazioni ottimali durante le misure su wafer. La versione manuale consente di posizionare con precisione il wafer e di avvicinarlo ai convertitori di frequenza, permettendo un allineamento e un contatto accurati con il dispositivo in prova. Questo design minimizza la perdita di segnale, riduce i conflitti meccanici e aumenta la potenza erogata al dispositivo in prova (DUT), il che lo rende una caratteristica essenziale per le applicazioni sub-THz, compreso il metodo load-pull.
Allo stesso modo, il sistema automatizzato MPI TS2000-IFE THZ-Selection integra piastre avanzate ingegnerizzate e posizionatori di precisione, seguendo lo stesso approccio della versione manuale. Il sistema automatizzato mantiene condizioni di misura stabili e controllate, un aspetto fondamentale per ottenere misure sub-THz affidabili e ripetibili. Sfruttando l'innovativo progetto di integrazione dell'estensore di frequenza di MPI, questo sistema automatizzato assicura una trasmissione ininterrotta del segnale, supportando misure RF alle onde millimetriche e THz con un'accuratezza eccezionale.
Sia la versione manuale che quella automatizzata sono progettate per soddisfare diverse dimensioni di wafer, fino a 300 mm, rendendole soluzioni versatili per un'ampia gamma di applicazioni di verifica dei semiconduttori. Questi sistemi avanzati consentono a ricercatori e progettisti di esplorare le tecnologie dei semiconduttori nel dominio delle alte frequenze, offrendo livelli eccellenti di accuratezza e ripetibilità nella caratterizzazione su wafer.
Il supporto di misure a 3 porte, che si estendono nella gamma dei THz, è un'altra capacità unica dei sistemi MPI. Ciò consente di caratterizzare i mixer subarmonici a banda larga accoppiando simultaneamente le porte a onde millimetriche e dell'oscillatore locale (LO).