Sistema de sondas para la conexión a la oblea
Para satisfacer los exigentes requisitos de las medidas sobre oblea en frecuencias de sub-THz, la solución conjunta utiliza la plataforma específica de sistema de sondas AIT de MPI Corporation. Esta ha sido desarrollada para medidas en obleas de 150 mm, 200 mm y 300 mm sin que ello afecte a las características de la instrumentación, la exactitud de medida o la facilidad en la operación. La solución cubre el rango de frecuencias hasta 1 THz y por encima, e incluye caracterización de temperatura excesiva.
Gracias a una adaptación específica de extensor de frecuencia (FEAD) y al diseño exclusivo de la placa de sondas es posible reducir al mínimo la distancia mínima entre el puerto del extensor y el objeto examinado (DUT). Los elementos de fijación posicionan los convertidores de frecuencia muy cerca de la oblea para elevar al máximo la potencia aplicada al dispositivo y garantizan un muy amplio rango dinámico para medidas en su entrada y salida. El innovador software de calibración QAlibria®y los substratos de calibración verificados facilitan la implementación de métodos de calibración avanzados y conformes con las normas industriales, así como la calibración multilínea TRL (Through‑Reflect-Line) con el nivel metrológico NIST mediante la vinculación con el paquete de software StatistiCAL de NIST.
El sistema de sondas manual MPI TS200-THZ sigue los mismos principios básicos que su homólogo automático, el MPI TS2000-IFE THZ-Selection. Ambos sistemas incorporan posicionadores de precisión y una placa diseñada para garantizar el rendimiento óptimo durante las medidas sobre oblea. La versión manual proporciona precisión de posicionamiento de la oblea y proximidad a los convertidores de frecuencia, lo que se traduce en una gran exactitud en la alineación y el contacto con el dispositivo bajo prueba. Este diseño reduce al mínimo la pérdida de señal, reduce los conflictos mecánicos y mejora la potencia suministrada al dispositivo bajo prueba, y es por lo tanto una característica esencial para las aplicaciones sub-THz, incluidas las load-pull.
El modelo automático MPI TS2000-IFE THZ-Selection integra igualmente una placa de diseño avanzado y posicionadores de precisión, siguiendo el mismo enfoque que la versión manual. El sistema automático mantiene las condiciones de medida estables y controladas, lo cual tiene una importancia crítica para obtener medidas fiables y repetibles en el rango de sub-THz. Gracias al innovador diseño de integración del extensor de frecuencia de MPI, este sistema automático garantiza la transmisión ininterrumpida de la señal, lo que permite realizar medidas de RF, de ondas milimétricas y de THz con una precisión extraordinaria.
Tanto la versión manual como la automática están diseñadas para albergar diferentes tamaños de oblea, con hasta 300 mm, lo que las convierte en soluciones versátiles para una amplia gama de aplicaciones de semiconductores. Estos sistemas avanzados permiten a los investigadores e ingenieros explorar tecnologías de semiconductores en altas frecuencias y ofrecen una precisión y repetibilidad extraordinarias en la caracterización sobre oblea.
Las medidas de 3 puertos, que hacen posible la extensión al rango de los THz, constituyen otra función exclusiva de los sistemas de MPI. Gracias a ello, se pueden verificar mezcladores de subarmónicos de banda ancha acoplando de forma paralela puertos de ondas milimétricas y de oscilador local (LO).