Solution basée sur le FPOR
Le FPOR fournit une technique précise pour la mesure de la permittivité complexe des films diélectriques dans la gamme de fréquence de 110 GHz à 170 GHz avec une résolution de 1,5 GHz. En plus du montage FPOR, un analyseur de réseaux vectoriels R&S®ZNA26 (VNA) avec deux ports et un PC sont nécessaires pour la mesure, qui est automatique, rapide et simple à réaliser. Dans la bande D, un adaptateur guide d'ondes est également nécessaire pour connecter les deux convertisseurs à ondes millimétriques R&S®ZC170 au FPOR couplé coaxial.
La caractérisation du matériau sous test (MUT) est entrepris dans le FPOR avec des modes Gaussien impairs consécutifs, désignés par TEM0,0,q, où q est un ordre de mode longitudinal. Le MUT se trouve généralement exactement au milieu du résonateur dans un faisceau Gaussien au maximum du champ électrique. Le MUT est inséré dans le FPOR sur un échantillon en dédié en polycarbonate avec une ouverture circulaire au milieu (diamètre extérieur < 50 mm). Si l'échantillon correspond au FPOR, la mesure est non destructive et aucune préparation spécifique du MUT n'est nécessaire.
Les données de mesure brutes, en particulier les changements dans la fréquence de résonance et le facteur Q correspondant dus à l'insertion du MUT, sont traduits par la constante diélectrique (Dk) et le facteur de dissipation (Df), respectivement. Pour le Dk, des tableaux de recherche de la fréquence de résonance en fonction de l'épaisseur et du Dk du MUT sont calculés au cours d'une étape de pré-traitement, en utilisant un modèle électromagnétique (EM) du FPOR.
Une fois que le Dk du MUT est évalué, le Df correspondant est calculé en utilisant la formule suivante :